電能質量分析儀隨著非線性負荷占電網用電比例增高，非線性負荷在向電網吸取基波的同時，也向電網注入諧波電流和諧波功率，導致電源波形畸變，產生與工頻成整數倍增加的高次諧波及非整數增加的間諧波，危及電力設備特別是微電子元件的智能化流水線或計算機控制系統的安全運行。

電能質量分析儀抑制諧波的技術措施如下：

(1)從電網上將諧波源用戶與不能受干擾的用戶分開，切斷干擾的傳播途徑。 
(2)對計算機控制的機電一體化設備，配電系統的抗干擾可采取分立式供電方案，將組成系統各模塊分別用獨立的變壓、整流、濾波、穩壓電路構成的直流電源供電，可減少集中供電的危險性，減少公共阻抗及公共電源的相互耦合。同時，應采取進一步的保護性措施，監視電源電壓瞬時短路、瞬時降壓和微秒級干擾及斷電等，及時輸出信號使CPU復位。 
(3)電能質量分析儀限制連接到供電系統的整流器極限容量，或提高用戶大容量非線性設備的供電電壓。 
(4)增加用戶整流設備的相數。相數增加，整流波形的脈動數相應增多，次數低、幅值大的諧波相應抵消的也多。 
(5)在接近諧波源負荷的變電站設置由電容器、電抗器和電阻器組成的濾波裝置。 
 (6)補償固定頻率的諧波可在電容補償裝置中加裝參數正確的串聯電抗器。其優點是可消除發生諧振的可能、限制電容器投入時的涌流、減少諧波引起的電容器過負荷、抑制短路電流、有利于斷路器和熔斷器的滅弧、可有效降低對通信的干擾影響。